潔凈室的平面布置可以有以下幾種方式：

  外廊環(huán)繞式：外廊可以有窗和無窗，兼作參觀和放置一些設備用，有的在外廊內(nèi)設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。

  內(nèi)廊式：潔凈室設在外圍，而走廊設在內(nèi)部，這種走廊的潔凈度級別一般都較高，甚至和潔凈室同級。

  兩端式：潔凈區(qū)設在一邊，另一邊設準潔凈和輔助用房。

  核心式：為了節(jié)約用地、縮短管線，可以潔凈區(qū)為核心，上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來，這種方式避開室外氣候?qū)崈魠^(qū)的影響，減少了冷熱能耗，利于節(jié)能。

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